Вода для электронной промышленности (ОСТ 11.029.003-80, ASTM D-5127-90)

 

Показатели	Единицы измерения	Марка воды по  ОСТ 11.029.003-80			Марка воды по  нормам ASTM D-5127-90
		А	Б	В	Е-1	Е-2	Е-3	Е-4
Удельное сопротивление  при тем. 20 С	МОм*см	18	17	5	18	17,5	12	0,5
Органические  вещества (окисляемость)	мг О2/л	0,5	0,6	1,0
Общий органический  углерод	мкг/л				25	50	300	1000
Кремниевая к-та (SiO3-2)	мг/л	0,01	0,01	0,05	0,005	0,01	0,05	1,0
Железо (Fe)	мг/л	0,002	0,005	0,01
Медь (Cu)	мг/л	0,002	0,002	0,003	0,001	0,001	0,002	0,5
Микрочастицы  с размером 1-5 мкм	шт/л	20	50	не регла- ментируется
Микроорганизмы	колоний/мл	2	8	не регла- ментируется
Хлориды (Cl -)	мкг/л				1		10	1000
Никель (Ni)	мкг/л				0,1	1	2	500
Нитраты	мкг/л				1		5	500
Фосфаты	мкг/л				1		5	500
Сульфаты	мкг/л				1		5	500
Калий	мкг/л				2		5	500
Натрий	мкг/л				0,5	1	5	500
Цинк	мкг/л				0,5	1	5	500
Микрочастицы	шт/мл	2	20	50
Минимальный размер частиц	мкм	1	1	5
Микроорганизмы	колоний/мл	1	2	10