Главная / Техническая информация / Вода для электронной промышленности (ОСТ 11.029.003-80, ASTM D-5127-90)
Вода для электронной промышленности (ОСТ 11.029.003-80, ASTM D-5127-90)
| Показатели | Единицы измерения | Марка воды по ОСТ 11.029.003-80 |
Марка воды по нормам ASTM D-5127-90 |
|||||
| А | Б | В | Е-1 | Е-2 | Е-3 | Е-4 | ||
| Удельное сопротивление при тем. 20 С |
МОм*см | 18 | 17 | 5 | 18 | 17,5 | 12 | 0,5 |
| Органические вещества (окисляемость) |
мг О2/л | 0,5 | 0,6 | 1,0 | ||||
| Общий органический углерод |
мкг/л | 25 | 50 | 300 | 1000 | |||
| Кремниевая к-та (SiO3-2) | мг/л | 0,01 | 0,01 | 0,05 | 0,005 | 0,01 | 0,05 | 1,0 |
| Железо (Fe) | мг/л | 0,002 | 0,005 | 0,01 | ||||
| Медь (Cu) | мг/л | 0,002 | 0,002 | 0,003 | 0,001 | 0,001 | 0,002 | 0,5 |
| Микрочастицы с размером 1-5 мкм |
шт/л | 20 | 50 | не регла- ментируется |
||||
| Микроорганизмы | колоний/мл | 2 | 8 | не регла- ментируется |
||||
| Хлориды (Cl -) | мкг/л | 1 | 10 | 1000 | ||||
| Никель (Ni) | мкг/л | 0,1 | 1 | 2 | 500 | |||
| Нитраты | мкг/л | 1 | 5 | 500 | ||||
| Фосфаты | мкг/л | 1 | 5 | 500 | ||||
| Сульфаты | мкг/л | 1 | 5 | 500 | ||||
| Калий | мкг/л | 2 | 5 | 500 | ||||
| Натрий | мкг/л | 0,5 | 1 | 5 | 500 | |||
| Цинк | мкг/л | 0,5 | 1 | 5 | 500 | |||
| Микрочастицы | шт/мл | 2 | 20 | 50 | ||||
| Минимальный размер частиц | мкм | 1 | 1 | 5 | ||||
| Микроорганизмы | колоний/мл | 1 | 2 | 10 | ||||