Главная \ Техническая информация по водоподготовке \ Вода для электронной промышленности (ОСТ 11.029.003-80, ASTM D-5127-90)

Вода для электронной промышленности (ОСТ 11.029.003-80, ASTM D-5127-90)

 

Показатели Единицы измерения Марка воды по 
ОСТ 11.029.003-80
Марка воды по 
нормам ASTM D-5127-90
А Б В Е-1 Е-2 Е-3 Е-4
Удельное сопротивление 
при тем. 20 С
МОм*см 18 17  5 18  17,5  12  0,5 
Органические 
вещества (окисляемость)
мг О2 0,5 0,6 1,0        
Общий органический 
углерод
мкг/л    25 50  300  1000 
Кремниевая к-та (SiO3-2) мг/л 0,01 0,01  0,05  0,005 0,01 0,05  1,0 
Железо (Fe) мг/л 0,002 0,005 0,01        
Медь (Cu) мг/л 0,002 0,002 0,003 0,001 0,001 0,002 0,5
Микрочастицы 
с размером 1-5 мкм
шт/л 20 50  не регла-
ментируется 
       
Микроорганизмы колоний/мл 2 8 не регла-
ментируется 
       
Хлориды (Cl -) мкг/л     1  10 1000 
Никель (Ni) мкг/л    0,1 500 
Нитраты мкг/л    1  500 
Фосфаты мкг/л     1   500 
Сульфаты мкг/л    1  500 
Калий мкг/л     2   500 
Натрий мкг/л    0,5 500 
Цинк мкг/л    0,5 500 
Микрочастицы шт/мл 2 20 50        
Минимальный размер частиц мкм 1 1 5        
Микроорганизмы колоний/мл 1 2 10